簡 介

本真空烘烤爐(BACKING 爐)設計來清除有機金屬化學氣相磊晶外延片機台上石墨晶片載板(susceptor)的表面沉積物(GaN , GaAs, InGaASP)等三五族物質，使石墨承板潔淨可重複再使用。 VACLONG 獨步業界，將真空技術應用至上述功能，開發BACKING爐製程，雖然同業相繼模仿， VACLONG真空爐已行銷全球超過26年，獲MOCVD設備製造晶圓外延片廠家所使用，品質備受肯定。